成本更低,销量肯定不成问题。”
顾青笑着摇了摇头,与赵教授握手之后,看了一眼他们刚刚聚精会神观察的设备显示器。
“duv光源是准分子激光,而asl1的euv光刻机用激光激发等离子来发射euv光子是有原因的。
duv光刻机的波长能达到193纳米,而euv光源的波长则为13.5纳米。
相信赵教授您也知道,二者之间的差距十分明显,波长越短,所能实现的分辨率越高。这让euv光刻机能够承担高精度芯片的生产任务。
所以duv虽然能做48n,但是难度太大了,必须换euv才行。”
赵教授没有说话,他身侧的一位年轻研发人却是说道:“euv光源都被国外公司包圆了,哪里有那么容易给我们用。”
“德国莱卡的镜头、通快的光源、德美日韩的专利技术,是的确被包圆了。
可咱们又不是不可以直接从源头开始换。”罗佳说。
年轻的研发人员冷哼了一声:“说的这么简单,从新研发光源,哪里那么容易。”